ワークサイズと仕様
| 最大 | φ200mm×t2.0mm |
|---|---|
| 溝ピッチ | 127μm、250μm、特殊ピッチ対応可 |
| 溝ピッチズレ | ±0.3μm以下対応可 |
| V角度 | 60°～100° |
| V角度精度 | ±0.5° |
| 溝ピッチズレ・形状の測定 | レーザーヘテロダイン変位計と画像処理を用いて測定 |
加工素材
テンパックス、パイレックス、石英、ジルコニア、結晶シリコン、HAP
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| 最大 | φ200mm×t2.0mm |
|---|---|
| 溝ピッチ | 127μm、250μm、特殊ピッチ対応可 |
| 溝ピッチズレ | ±0.3μm以下対応可 |
| V角度 | 60°～100° |
| V角度精度 | ±0.5° |
| 溝ピッチズレ・形状の測定 | レーザーヘテロダイン変位計と画像処理を用いて測定 |
テンパックス、パイレックス、石英、ジルコニア、結晶シリコン、HAP