真空蒸着

光学・精密部品の薄膜を設計から成膜、接合までトータルに対応

高機能多層膜を実現するイオンアシスト蒸着機により、光学映像部品等の成膜を、設計から製作までトータルに対応いたします。

試作・実験用に全薄膜製品を一点からお買い求めいただけます

各種光学薄膜製品を1点から販売しております。 その他ご希望の光学特性などがありましたらご相談ください。

光学薄膜製品を購入する

主なコーティング例

IRカットフィルター
赤外カットフィルター

赤外線を透過させず反射させて、可視光を透過させる誘電体多層膜

UVカットフィルター
紫外カットフィルター

紫外線(UV)をカットする誘電体多層膜

UV-IRカットフィルター
紫外・赤外カットフィルター

紫外線(UV)と赤外線(IR)をカットする誘電体多層膜

反射防止膜
ARコート

光学材料表面の反射を防止(低減)させるための誘電体膜

ビームスプリッター
BS

透過・反射の任意な切り分けが可能となる誘電体多層膜

偏光ビームスプリッター
PBS

偏光成分毎の透過・反射の任意な切り分けが可能となる誘電体多層膜

ダイクロイックフィルター
二色フィルター/ RGBフィルター/DF

特定の波長の光を選択透過および反射させる誘電体多層膜

ダイクロイックミラー
二色鏡/DM

特定の波長の光を反射光として得ることができる誘電体多層膜

バンドパスフィルター
BPF

特定波長を選択するフィルター

高反射ミラー
赤外カットフィルター

赤外線を透過させず反射させて、可視光を透過させる誘電体多層膜

各種レーザーミラー
Laser Mirror

各種レーザーに対応したミラーを設計・成膜

コールドミラー
Cold Mirror

可視光(VIS)を反射させ、近赤外光(NIR)を透過させる誘電体多層膜

ホットミラー
Hot Mirror

近赤外線(NIR)を反射させ、可視光(VIS)を透過させる誘電体多層膜

設備

イオンアシスト真空蒸着

イオンアシスト真空蒸着

イオンの持つ高い運動エネルギーにより蒸着物質が活性化され、イオンアシストすることで蒸着物質に成膜面での流動性を持たせ、不純物が入り込む隙間のない緻密で高精度な膜を形成することができます。
イオンアシストによる成膜はシフトレスで緻密な膜を形成するため、膜厚による反りが少ない基板を作製することができます。

反った基板(上)と反りを抑えた基板(下) t=0.1mm

クリーンルーム

クリーンルーム
クリーンルーム クラス3000

高機能多層膜を実現するイオンアシスト蒸着機と、光学部品には必要不可欠な反射防止膜装置をあわせ持ち、デジカメ部品、CD・DVDピックアップ部品等の薄膜を、設計から成膜まで、トータルに対応致します。

検査環境 クラス100以下

ダイサー切断加工

ダイサー切断加工

成膜後のダイシング加工までトータルに対応しています。
お客様の要求仕様に合わせてチップ加工を対応しています。四角、丸、その他、ご要望の形状に加工対応いたします。寸法、板厚、公差をご指定下さい。

クリーンルーム内設備一覧

  • イオンアシスト真空蒸着装置
  • 真空蒸着装置
  • ダイシングソー
  • ピッカー装置
  • 超純水洗浄装置
  • クリーンベンチ
  • クリーンブース
  • 分光光度計
  • 高速分光測定装置
  • レーザー干渉計
  • 各種顕微鏡
  • 恒湿器(熱処理器)
  • 低温恒温恒湿器
  • ヒートショック試験機
  • パーティクルカウンター
  •  

検査機・品質保証について