ダイヤモンドワイヤーソー切断加工

サファイア、SiC等の硬質素材が切断可能

ダイヤモンド砥粒を固定させたソーワイヤを使用することで、サファイヤ、SiC、GaN等の硬度の高い難削素材の切断が可能です。
また、切り代が0.15mm程度と極めて少ないため、材料歩留りが高く、セラミックスの中でも高価な結晶物の微細高精度切断加工も得意としています。
弊社独自の加工方法により、ワイヤー走行（最速ワイヤー速度）1,500m/minの高速切断を実現しました。

ワークサイズと仕様

最大	φ200mm(□200mm)　L300mm
最小切断寸法	0.15mm
切断精度	±0.01mm
切り代	0.18mm
備考	加工素材やワークサイズにより差異が生じますが、お客様の要求仕様に沿って加工致します。
対応素材形状	インゴット形状からバルク形状まであらゆる素材形状に対応いたします。大口径Φ200mmの素材も対応することが可能です。
加工形状	マルチ切断/ダイシング切断/ウエハー加工お客様の求める形状にお応えします。

加工素材

セラミックス(窒化珪素（SiN）、窒化ホウ素（BN）、アルミナ、ジルコニア、PZT、窒化アルミ（ALN）、ビスマステルル、カーボン、マシナブル、マコール、ムライト、LTCC、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化亜鉛、コージェライト）、ガラス（鉛ガラス、色ガラス）、水晶、炭化ケイ素（セラミック、単結晶）、機能結晶（LT、LN、Si、ガリウム鉄結晶、GAGG、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、酸化マグネシウム）、石英（溶融石英、合成石英）、コンポジット材、ハイブリッド材、サファイア、超硬合金

加工実績

素材	サイズ	反り	TV5
SiC単結晶	φ6inch	0.05mm以下	0.02mm以下
サファイヤ	φ4inch	0.02mm以下	0.01mm以下
超硬合金	φ1inch	0.03mm以下	0.02mm以下

ダイヤモンドワイヤーソー切断加工に関するよくあるご質問

Q. 有害な物質を含んだ素材の切断を依頼したいのですが、可能でしょうか？

可能です。特定化学物質として管理が必要な、鉛、コバルト、三酸化二アンチモン含有物質などに対応しています。その他の物質についてもご相談ください。