研磨加工

デバイスの進化を実現する、各種セラミックス等の脆性材料を高精度に研磨

光学素子、電子デバイス素子などの高精密化・超微細化・高集積化の促進を図るための高機能素材には、高平坦性、高平滑性が求められます。セラテックジャパンでは各種脆性材料の高精度研磨の試作から量産まであらゆるニーズにお応えします。

加工方法

砥石ラッピング両面研磨加工

品質改善・リードタイムの短縮・コスト低減につながる研磨加工

ワークサイズ
ワークサイズ : ~φ300mm×t0.1mm~ 加工精度 : ±0.003mm~ 表面粗度 : Ra>0.10μm
主な加工素材
セラミックス、コンポジット材、ハイブリッド材、超硬合金

ラッピング両面研磨加工

接着・剥離工程が無い、リードタイムの短縮・コスト低減につながる研磨加工

ワークサイズ
ワークサイズ : ~φ450mm×t0.05mm~ 加工精度 : ±0.001mm~ 表面粗度 : Ra>0.10μm
主な加工素材
セラミックス、ガラス、水晶、機能結晶、石英、コンポジット材、ハイブリッド材、サファイア、超硬合金

ラッピング片面研磨加工

両面研磨加工では困難なレベルの平面度、表面粗さを実現する片面研磨加工

ワークサイズ
ワークサイズ : ≦φ200mm 加工精度 : ±0.001mm~ 表面粗度 : Ra>0.001μm
主な加工素材
セラミックス、ガラス、水晶、機能結晶、石英、コンポジット材、ハイブリッド材、サファイア、超硬合金

ポリッシング鏡面研磨加工

光学ガラス・セラミックスなどの板状素材を、高精度な鏡面に研磨

ワークサイズ
ワークサイズ : ~φ450mm×t0.1mm~ 加工精度 : ±0.002mm~ 表面粗度 : Ra>0.001μm
主な加工素材
セラミックス、ガラス、水晶、機能結晶、石英、コンポジット材、ハイブリッド材、サファイア、超硬合金

設備一覧

ラップ研磨機(4B~22B) 63台
ポリッシュ研磨機(4B~22B) 47台
片面研磨機(15in〜32in) 27台
固定砥粒研磨機 20台

検査機・品質保証について

前後の工程も含めトータルで加工が可能

切断・研削・研磨・蒸着までトータルで加工ができるため、品質や納期の一元管理が可能です。

一貫加工

鉛など特定化学物質が含まれる素材も対応

特定化学物質として管理が必要な、鉛、コバルト、三酸化二アンチモン含有物質などにも対応が可能です。

対応加工素材

試作から量産まで対応

小ロットから量産加工まで対応が可能です。量産に向けた計画の立案や工程設計なども行います。

設備一覧

新素材の加工提案

研究開発中の新素材の加工について、ご相談を承ります。一貫した加工により、試作・検証・改善がスムーズに行えます。

新素材の加工

主な対応素材

光学ガラス(レンズ、プリズム、PBS、オプティカルフィルター) / 電子部品ガラス / 石英ガラス(合成石英、溶融石英) / 水晶(水晶放熱板、SAW、オプティカルローパスフィルター) / ニオブ酸リチウム LiNbO3 / タンタル酸リチウム LiTaO3 / 酸化マグネシウム MgO / フェライト (ソフトフェライト) / チタン酸バリウム BaTiO3 / ジルコニア ZrO2 / 窒化ケイ素 Si3N4 / 窒化アルミ AlN / アルミナ Al2O3 / サファイア / 圧電セラミックス PZT / マシナブルセラミックスなど

研磨加工に関するよくあるご質問

Q. 研磨方法はどのような方法ですか?

遊離砥粒による平面研磨(ラッピング、ポリッシング)加工です。それぞれ両面、片面とありますが、両面研磨では上下2枚の円形定盤の間に、ワークを入れて加工します。片面加工はガラスやセラミック製のヤトイ板にワークを貼り付け、研磨します。

Q. 研磨材の種類はどのようなものですか?

主に、ラッピング研磨加工ではSiC(炭化珪素)、アルミナ、ポリッシング研磨では酸化セリウム、コロイダルシリカを使用しています。また、お客様の仕様により、最良の番手と砥粒種をご提案いたします。

Q. 面精度はどのくらいですか?

面精度(面粗さ・平行度・平面度等)は加工物と形状によって大きく異なります。面粗さの例としまして、セラミックスのラッピング研磨加工でRa0.1μm~、ポリッシング研磨加工でRa0.005μm~です。

Q. 最小研磨厚はどのくらいですか?

セラミックスの両面ラッピング研磨加工で、外形□4inch×板厚50μm(厚みバラつき±1μm)の実績があります。片面研磨加工に比べ、接着によるコストを抑えられます。

Q. 研磨機の大きさはどのくらいですか?

両面研磨機で4B~22Bまで、設備台数も豊富に取り揃えております。また、キャリアを自作していますので、お客様のご要望にスピーディ且つ柔軟に対応致します。

Q. 鉛入り素材(環境汚染物質)の加工は可能ですか?

圧電セラミックス(PZT)、鉛ガラス等の加工実績がございます。加工廃液処理も徹底しておりますので、お困りの素材がございましたらご相談下さい。

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